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Malema互連聯鎖裝置旁通泄漏檢測系統MIID-1000 行業：半導體
Malema互連聯鎖裝置旁通泄漏檢測系統MIID-1000是專為化學機械平面化（CMP）工具而設計的，已獲得**，專門用于防止液體回流和內部旁通泄漏。這種能力是通過以協調方式運行的氣動閥歧管創建的，以確保CMP液體供應在使用前或實際CMP過程中不會被污染。MIID-1000配備了改裝套件，可安裝到現有的CMP工具中。
Malema互連聯鎖裝置旁通泄漏檢測系統MIID-1000概述、規格和文件 Malema?互連聯鎖裝置（MIID-1000）旁通泄漏檢測和預防系統為實驗室、工業廠房和晶圓制造設施中的散裝化學品和高純水服務提供回流保護。
Malema互連聯鎖裝置旁通泄漏檢測系統MIID-1000特征 所有接觸液體的部件均采用高純度PTFE和PFA結構。 PFA和PVDF的非潤濕表面 一體化設計，安裝緊湊，節省空間。 設計用于*小化水頭損失 現場可配置的火炬連接[入口可配置為?“或3/8”火炬接頭]，簡化了改裝安裝，減少了庫存 閥門部件在去離子水中測試超過10,000,000次（在卡博特SS-12中超過1,050,000次）。 閥門Cv=0.8 內置泄漏檢測和監控 內置光學閥位置傳感
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